Bachelorarbeit, 2014
51 Seiten, Note: 1,3
Symbol- und Abkürzungsverzeichnis
1 Einleitung
2 Grundlagen zum Depositionsverfahren
2.1 CVD Verfahren
2.2 Filmwachstum
2.3 Reaktoraufbau
3 Grundlagen zur Charakterisierung der Proben
3.1 Messung am Ellipsometer
3.2 Oberflächenuntersuchung am AFM
4 Probenpraparation
5 Darstellung und Diskussion der Ergebnisse
5.1 Untersuchung der Depositionsrate und der Brechzahl
5.1.1 Depositionsrate
5.1.2 Brechzahl
5.2 Topografische Aufnahmen am AFM
6 Zusammenfassung
Literatur
Abbildungsverzeichnis
Tabellenverzeichnis
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