Vordiplomarbeit, 2016
44 Seiten, Note: 2,3
1 Einleitung
2 Grundlagen
2.1 MAX-Phasen
2.1.1 Aufbau und Eigenschaften
2.1.2 Cr2AlC
2.2 Arc-PVD-Verfahren
2.2.1 Beschichtungstechnologien
2.2.2 Das Vakuumbogenverfahren
2.2.3 Wechselwirkung mit Oberfläche
2.2.4 Schichtbildung
3 Experimentelles
3.1 Probenherstellung
3.2 Messverfahren
4 Ergebnisse und Auswertung
4.1 Chemische Zusammensetzung
4.2 XRD
4.3 Eindringhärte und EindringModul
4.4 Verschleiß
5 Fazit
Die Arbeit untersucht den Zusammenhang zwischen der Beschichtungstemperatur und den resultierenden Eigenschaften von Cr2AlC-MAX-Phasen-Schichten, die mittels Arc-PVD hergestellt wurden, um deren Eignung als Verschleißschutz in Gasturbinen zu evaluieren.
2.2.2 Das Vakuumbogenverfahren
Für die Energiezufuhr gibt es die verschiedene Möglichkeiten. Das Arc-PVD Verfahren oder auch Vakuumbogenentladungsverdampfen nutzt eine elektrische Entladung zwischen einer positiv gepolten Anode und einer negativ gepolten Kathode. Aus theoretischer Sicht wäre es möglich beide Arten von Elektroden einzeln zu verdampfen. Allerdings hat sich die Kathode in der technischen Anwendung als sogenanntes Target durchgesetzt [6]. Wichtige Grundvorausetzung dafür ist die gute elektrische Leitfähigkeit des verwendeten Stoffes.
Um den Prozess zu initialisieren wird zwischen dem Verdampfer (Kathode) und der geerdeten Kammerwand (Anode) mittels einer beweglichen Zündelektrode, welche auch Trigger genannt wird, durch Kontaktieren ein Lichtbogen gezündet [7]. Nach der Zündung, im laufenden Prozess werden niedrige Spannungen (ca. 20 V) mit hohen Stromstärken (ca. 100 A) verwendet [8]. Im Vakuum entlädt sich der Lichtbogen allerdings nicht über die ganze Kathode sondern nur in einem einige µm großen Brennfleck [9]. Dieses Phänomen wird als Kathodenfleck bezeichnet.
Die enorme Leistungsdichte von 109 W/cm2 in der Entladung führt zum schlagartigen Verdampfen des Targetmaterials [9]. Durch den hohen Energieeintrag wird das Gas bis zu einem Grad von 20 bis 100 % ionisiert und das entstandene Plasma beschleunigt auf einige 104 bis 105 m/s [6]. An den Rändern kommt es auch vereinzelt zum unerwünschten Herauslösen flüssiger Tropfen (siehe Abbildung 4) von der Größe einiger 10 nm bis einigen 10 µm [6]. Die sogenannten Droplets werden zum Teil in die aufgebaute Schicht integriert [9]. Die Bildung dieser unerwünschten Nebenprodukte ist abhängig von der Schmelztemperatur des Kathodenwerkstoffes, umso höher diese liegt desto weniger Droplets werden gebildet [8].
1 Einleitung: Beschreibt die steigende Bedeutung von MAX-Phasen als Werkstoffgruppe für Verschleißschutzbeschichtungen und definiert die wissenschaftliche Problemstellung hinsichtlich der phasenreinen Herstellbarkeit.
2 Grundlagen: Erläutert die Materialeigenschaften von MAX-Phasen, insbesondere von Cr2AlC, sowie die physikalischen Prinzipien des Arc-PVD-Beschichtungsverfahrens.
3 Experimentelles: Beschreibt den Versuchsaufbau der Probenherstellung in zwei Versuchsreihen sowie die angewandten Messverfahren zur Charakterisierung der Schichten.
4 Ergebnisse und Auswertung: Analysiert die chemische Zusammensetzung, die kristallographischen Phasen mittels XRD, die Härte und das Verschleißverhalten der erzeugten Schichten.
5 Fazit: Führt die Ergebnisse zusammen und bewertet den Einfluss der Substrattemperatur sowie die Notwendigkeit optimierter Prozessparameter für zukünftige Untersuchungen.
MAX-Phasen, Cr2AlC, Arc-PVD, Vakuumbogenverfahren, Schichteigenschaften, Substrattemperatur, Verschleißschutz, Phasenzusammensetzung, Röntgendiffraktometrie, Eindringhärte, Schichtwachstum, Inconel 718, Beschichtungstechnologien, Prozessparameter, Dünnschicht.
Die Arbeit befasst sich mit der Untersuchung von Cr2AlC-MAX-Phasen-Schichten, die durch das Arc-PVD-Verfahren hergestellt wurden, unter besonderer Berücksichtigung des Einflusses der Substrattemperatur.
Zentrale Themen sind die Werkstoffkunde von MAX-Phasen, die Dünnschichttechnologie mittels Vakuumbogenverdampfung sowie die mechanische und strukturelle Charakterisierung von Beschichtungen.
Das Ziel ist es, Zusammenhänge zwischen der Beschichtungstemperatur und den chemischen, mechanischen sowie strukturellen Eigenschaften der Cr2AlC-Schichten herauszuarbeiten.
Es werden zwei experimentelle Versuchsreihen mit unterschiedlichen Parametern durchgeführt, die anschließend mittels EDX (chemische Analyse), XRD (Strukturanalyse), Eindringprüfung und Tribometer-Verschleißtests ausgewertet werden.
Der Hauptteil gliedert sich in die theoretischen Grundlagen des Vakuumbogenverfahrens, die experimentelle Umsetzung der Probenherstellung und die detaillierte Auswertung der Messergebnisse.
Wichtige Schlüsselwörter sind MAX-Phasen, Arc-PVD, Cr2AlC, Substrattemperatur und Verschleißbeständigkeit.
In der ersten Versuchsreihe konnte nachgewiesen werden, dass die Cr2AlC-Phase ab einer Substrattemperatur von 600 °C hergestellt werden kann.
Aufgrund der vergleichsweise weichen Substrate und der Porosität der Schichten drang die Testnadel bis in das Substrat ein, was eine normgerechte Bestimmung der Verschleißfestigkeit der Schicht allein verhinderte.
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