Methoden und Maschinentechnik für die Qualitätssicherung von Mikroteilen

Inhaltsverzeichnis

• Einleitung
  • Motivation
  • Zielsetzung
  • Aufbau der Arbeit
• Mikrosystemtechnik
  • Einführung
  • Bedeutung der Mikrosystemtechnik
  • Einsatzbereiche und Marktpotential
  • Herausforderungen in der Mikrosystemtechnik
    • Technische Herausforderungen
    • Wirtschaftliche Herausforderungen
• Qualitätssicherung von Mikrobauteilen
  • Ermittlung von Anforderungen in der Mikro-Messtechnik
    • Bedeutung der Messtechnik
    • Übertragung der Normenanforderungen für Mikrobauteile
    • Implizite Anforderungen beim prüftechnischen Umgang mit Mikrokomponenten
  • Geeignete Mikro-Messverfahren zur Qualitätssicherung
    • Konfokale Mikroskopie
    • Weißlichtinterferometrische Mikroskopie (WLI)
    • Digitale Holographische Mikroskopie (DHM)
    • Optisches Rasternahfeldmikroskop (SNOM)
    • Fiberskop
    • (Mikro-) Streifenprojektion
    • Rastersondenmikroskopie (SPM)
    • Rasterelektronen-Mikroskopie (REM)
    • Mikro-Koordinatenmessgeräte (MCMM)
  • Umsetzbarkeitsbetrachtung
• Automatisierungstechnik für die Qualitätssicherung von Mikrobauteilen
  • Anforderungen an die automatisierte Qualitätssicherung
  • Automatisierungstechnik in der Mikro-Qualitätssicherung
    • Großraum-Positioniereinheiten
    • Mikro-Manipulatoren
    • Mikro-Greifer
    • Transportsysteme
    • Komponenten zur Prozessüberwachung
  • Umsetzbarkeitsbetrachtung
• Zusammenfassung und Ausblick
  • Zusammenfassung
  • Ausblick

Zielsetzung und Themenschwerpunkte

Diese Arbeit befasst sich mit der Qualitätssicherung von Mikroteilen. Das Ziel ist es, einen Überblick über die Herausforderungen in der Mikrosystemtechnik im Bereich der Qualitätssicherung zu geben und geeignete Messtechnologien und Automatisierungstechniken aufzuzeigen.

• Herausforderungen in der Mikrosystemtechnik, insbesondere im Bereich der Qualitätssicherung
• Geeignete Messverfahren für Mikrokomponenten
• Automatisierungstechnik für die Qualitätssicherung von Mikroteilen
• Umsetzbarkeit und Einsatzmöglichkeiten der beschriebenen Technologien
• Zukünftige Entwicklungen im Bereich der Qualitätssicherung von Mikroteilen

Zusammenfassung der Kapitel

• Einleitung: Die Einleitung erläutert die Motivation für die Arbeit und stellt die Zielsetzung und den Aufbau dar.
• Mikrosystemtechnik: Dieses Kapitel gibt einen Überblick über die Bedeutung der Mikrosystemtechnik, ihre Einsatzbereiche, ihr Marktpotential und die Herausforderungen, die mit der Produktion von Mikroteilen verbunden sind.
• Qualitätssicherung von Mikrobauteilen: Dieses Kapitel befasst sich mit den Anforderungen an die Qualitätssicherung von Mikrobauteilen und stellt verschiedene Messverfahren vor, die für die Qualitätssicherung von Mikrokomponenten geeignet sind.
• Automatisierungstechnik für die Qualitätssicherung von Mikrobauteilen: In diesem Kapitel werden Anforderungen an die automatisierte Qualitätssicherung von Mikrobauteilen beschrieben und verschiedene Automatisierungstechniken vorgestellt, die für die Mikro-Qualitätssicherung eingesetzt werden können.

Schlüsselwörter

Mikrosystemtechnik, Qualitätssicherung, Messtechnik, Automatisierungstechnik, Mikrokomponenten, Messunsicherheit, Mikro-Messverfahren, Mikro-Manipulatoren, Mikro-Greifer, Transportsysteme.