Doktorarbeit / Dissertation, 2013
157 Seiten, Note: sehr gut
1 Einleitung
2 Stand der Technik
2.1 Siebdruck
2.2 Direct-Write elektronischer Bauelemente
2.2.1 Tintenbasierte Verfahren
2.2.2 Thermische Verfahren
2.2.3 Verfahrenskombinationen
2.3 Inkjetfertigung elektronischer Baulelemente
2.3.1 Drucktechnik
2.3.2 Inkjetgefertigte Strukturen
3 Prozessregelung
3.1 Anlagenentwurf
3.1.1 Einflussgrößen
3.1.2 Interdependenzen
3.1.3 Anlagenschema
3.2 Temperaturregelung
3.2.1 Bauliche Implementierung
3.2.2 Regelung
3.2.3 Wahl des Arbeitspunktes
3.3 Druckregelung
3.3.1 Wahl der Pumpen
3.3.2 Zulaufdruck
3.3.3 Ablaufdruck
3.4 Trocknungsumgebung
3.5 Ansatz zur Druckkopfidentifikation
3.5.1 Systemidentifikation
3.5.2 Anwendungsbedingte Anforderungen
3.5.3 Existierende Verfahren
3.5.4 Ableitung eines neuen Verfahrens
3.5.5 Quantifizierbare Tiefpassfilterung
3.5.6 Iterative Berechnung
3.5.7 Identifikation mit Prozessdaten
4 Druckprozess
4.1 Substratbeschichtung
4.1.1 Spincoating
4.1.2 Prozessparameter
4.2 Tintenherstellung
4.2.1 Herstellung der Paste
4.2.2 Herstellung von Tinten
4.2.3 Silbertinten
4.3 Einsatz mehrerer Druckköpfe
4.4 Druckmustererstellung
4.4.1 Anzahl der Schichten
4.4.2 Kompensation von Düsenfehlern
4.4.3 Positionierung der Bauteile
4.5 Prozessüberwachung
4.5.1 Tropfenmasse und Feststoffanteil
4.5.2 Streuung von Tropfengröße und -position
4.5.3 Sedimentierende Tinten
4.6 Sintern
4.6.1 Einfluss auf die Bauteilgeometrie
4.6.2 Pyrolyse der Additive
4.6.3 Sinterprofile
5 In situ gemischte Widerstände
5.1 Theoretische Modellierung
5.1.1 Leitwerte
5.1.2 Parallelschaltung
5.1.3 Virtuelle Tinten
5.1.4 Statistische Auswertung
5.2 Fertigung der Widerstände
5.2.1 Düsenausfälle
5.2.2 Versuchsaufbau
5.2.3 Virtuelle Tinten
5.2.4 Temperaturabhängigkeit
5.2.5 Parallelschaltung
5.2.6 Drucken definierter Leitwerte
6 Mehrlagige Kondensatoren
6.1 Versuchsaufbau
6.1.1 Geometrische Randbedingungen
6.1.2 Kondensatorentwurf
6.2 Theoretische Modellierung
6.3 Ergebnisse
6.3.1 Einfacher Plattenkondensator
6.3.2 Modifiziertes Design
6.4 Übertragbarkeit auf induktive Bauelemente
6.4.1 Modellierung
6.4.2 Vermessung
6.4.3 Fertigung
7 Vertikal integrierte RC-Glieder
7.1 Zielsetzung
7.2 Exemplarische Umsetzung
7.2.1 Prozessstabilität
7.2.2 Trocknung
7.2.3 Oberflächenadhäsion
7.2.4 Sinterverhalten
7.2.5 Elektrische Eigenschaften
7.3 Perspektive
8 Zusammenfassung und Ausblick
Das Hauptziel dieser Arbeit ist die Erforschung und Umsetzung erweiterter Funktionalitäten für Dickschicht-Bauelemente mittels Inkjet-Technologie. Die Forschungsfrage konzentriert sich darauf, wie durch den Einsatz industrieller Drucktechnik und gezielte Prozessregelungen passive Bauelemente wie Widerstände, Kondensatoren und vertikal integrierte RC-Glieder gefertigt werden können, die über das reine Reproduzieren bisheriger Verfahren hinausgehen.
3.1.1 Einflussgrößen
Die bereits erwähnte Modellierung des Tropfenbildungsprozesses führt zu einer Reihe von Fluideigenschaften, die die Tropfenbildung beeinflussen. Dies lässt sich anhand der Beschreibung des Tropfenbildungsprozesses nach Cibis veranschaulichen [Cibis2007]. Alle beschriebenen energetischen Umformungen sind verlustbehaftet. Aus diesen Verlusten resultiert die Entstehung von Abwärme.
Die elektrische Energie der Steuersignale wird durch den Piezokristall in mechanische Energie umgewandelt. Die Bewegung des Piezokristalls wiederum regt damit mechanisch das Fluid an. Von dessen Kompressibilität κS hängt ab, inwieweit diese Anregung zu Druckänderungen oder Volumenverdrängung führt. Wesentliche Einflussfaktoren für das Schwingen des angeregten Fluides in der Düse sind neben deren geometrischen Eigenschaften die Schallgeschwindigkeit cS und die Dichte ρ. Im schwingenden Fluid findet ein abwechselnder Energiewandel zwischen kinetischer und potentieller Energie statt. Löst sich ein Tropfen, so findet dieser Zustand zum Zeitpunkt der höchsten Amplitude der mitschwingenden Grenzfläche des Fluides an der Düsenöffnung statt. Damit liegt zu diesem Zeitpunkt fast ausschließlich potentielle Energie vor. In Abhängigkeit der Viskosität η, der Oberflächenspannung σA, des statischen Druckes ps und der Dichte bildet sich ein Tropfen, in dem die Energie auf die kinetische Energie des Tropfen und dessen Oberflächenenergie verteilt ist.
Neben diesen sich aus der physikalischen Modellierung der Tropfenbildung ergebenden Prozessgrößen gibt es noch weitere Randbedingungen, die eine Prozessgrößenregelung notwendig machen. Der verwendete Druckkopf, ein Xaar HSS 1001, soll laut Hersteller mit festen Werten für Viskosität und Zulaufdruck sowie in einem begrenzten Wertebereich für den Ablaufdruck betrieben werden (Tabelle 3.1).
1 Einleitung: Diese Einleitung beleuchtet die Rolle der additiven digitalen Fertigung als Schlüsseltechnologie für die Elektronik des 21. Jahrhunderts und definiert die Zielsetzung der Arbeit hinsichtlich Langlebigkeit, Flexibilität und Ressourceneffizienz.
2 Stand der Technik: Dieses Kapitel gibt einen Überblick über etablierte Fertigungsverfahren, insbesondere den Siebdruck, und stellt Direct-Write-Technologien sowie die spezifischen Anforderungen der Inkjet-Elektronikfertigung vor.
3 Prozessregelung: Der Fokus liegt hier auf der Identifikation und Konstantmachung relevanter Prozessgrößen durch ein neu entwickeltes Tintenmanagementsystem, inklusive der Temperatur- und Druckregelung sowie einem Ansatz zur Druckkopfidentifikation.
4 Druckprozess: Dieses Kapitel beschreibt die essenziellen Fertigungsschritte, von der Substratbeschichtung und Tintenherstellung bis hin zur Prozessüberwachung und dem Sintern der Bauelemente.
5 In situ gemischte Widerstände: Hier wird die Modellierung und Fertigung von Widerständen mittels in situ Mischung behandelt, wobei virtuelle Tinten zur Verbesserung der Auflösung eingeführt werden.
6 Mehrlagige Kondensatoren: Dieses Kapitel untersucht die Entwicklung und Fertigung mehrlagiger Kondensatoren, deren Kapazität durch Stapelung erhöht wird, und diskutiert die physikalischen Herausforderungen.
7 Vertikal integrierte RC-Glieder: Diese Zusammenführung bisheriger Konzepte zeigt die Fertigung komplexer RC-Glieder, die auf kleinstem Raum für Hoch- oder Tiefpassanwendungen realisiert werden.
8 Zusammenfassung und Ausblick: Der abschließende Teil fasst die erreichten Ergebnisse zusammen und skizziert künftige Entwicklungsbedarfe zur Automatisierung und Stabilitätssicherung in der Inkjet-Fertigung.
Inkjetfertigung, Elektronik, additive Fertigung, Direct-Write, Prozessregelung, Viskosität, Sinterverhalten, Kondensatoren, Widerstände, RC-Glieder, Systemidentifikation, Materialwissenschaft, Prozessstabilität, Tinte.
Die Arbeit befasst sich mit der Erweiterung der Funktionalität von Dickschicht-Bauelementen durch den Einsatz der Inkjet-Technologie, um eine flexiblere und präzisere Elektronikfertigung zu ermöglichen.
Die zentralen Felder sind die Prozessregelung, die Materialeigenschaften von Tinten, die additive Fertigung von passiven elektronischen Bauelementen und die Systemmodellierung zur Prozessoptimierung.
Das Ziel ist es, über das bloße Reproduzieren hinaus Bauelemente mit Eigenschaften zu versehen, die mit konventionellen Verfahren nicht umsetzbar sind, und dabei eine robuste, prozessstabile Fertigung zu etablieren.
Es werden modellbasierte Ansätze für die Prozessregelung (Regelkreise), physikalische Modellierungen zur Beschreibung von Stoffeigenschaften (Raman-Gleichung) und Methoden der algorithmischen Geometrie (Bowyer-Watson-Algorithmus) zur Systemidentifikation genutzt.
Der Hauptteil gliedert sich in die technische Implementierung der Prozessregelung, die Optimierung des Fertigungsprozesses und die praktische Anwendung auf Widerstände, Kondensatoren sowie vertikal integrierte RC-Glieder.
Die Arbeit wird durch Begriffe wie Inkjetfertigung, Prozessstabilität, in situ Mischung, Systemidentifikation und additive Fertigung charakterisiert.
Im Gegensatz zum Siebdruck erfordert der Inkjetdruck keine physischen Masken, ist hochgradig flexibel für Individualisierungen (Mass Customization) und ermöglicht den gezielten, digitalen Materialauftrag für komplexe 3D-Strukturen.
Die Viskosität der verwendeten Tinten ist stark temperaturabhängig. Da die Tropfenbildung präzise von der Viskosität abhängt, ist eine exakte Temperaturregelung notwendig, um reproduzierbare Ergebnisse zu erzielen.
Virtuelle Tinten sind definierte Mischverhältnisse zweier unterschiedlicher Basistinten. Sie erlauben eine deutlich feinere Abstufung der elektrischen Eigenschaften der Bauelemente, ohne dass für jeden Wert eine neue Tinte physikalisch hergestellt werden muss.
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