Doktorarbeit / Dissertation, 2015
147 Seiten, Note: 1,0
Dieser Text befasst sich mit einem wichtigen Thema und verfolgt das Ziel, neue Erkenntnisse zu gewinnen und bestehende Forschungslücken zu schließen.
Das erste Kapitel befasst sich mit der historischen Entwicklung des Themas und stellt den aktuellen Forschungsstand dar. Das zweite Kapitel beschreibt die methodischen Grundlagen der Untersuchung, einschließlich der Datenerhebung und Datenanalyse. Das dritte Kapitel präsentiert die wichtigsten Ergebnisse der Untersuchung. Schließlich diskutiert das vierte Kapitel die Ergebnisse im Kontext der bestehenden Literatur und leitet Schlussfolgerungen und Empfehlungen für die zukünftige Forschung ab.
Die wichtigsten Schlüsselwörter dieses Textes sind: Thema, Forschung, Ergebnisse, Diskussion, Schlussfolgerungen, Empfehlungen.
TSVs sind Kupfer-Durchkontaktierungen im Silizium, die für den vertikalen Aufbau von 3D-integrierten Mikrosystemen entscheidend sind.
Beim Annealing (Tempern) entstehen aufgrund unterschiedlicher Ausdehnungskoeffizienten von Kupfer und Silizium thermo-mechanische Spannungen, die zu Kupferprotrusion (Herausragen des Kupfers) führen können.
Zur Charakterisierung wurden EBSD-Messungen (Mikrostruktur), µ-Raman-Spektroskopie (Spannungsvalidierung) sowie Messungen der Testchipkrümmung eingesetzt.
Das Finite-Elemente-Modell (FE-Modell) dient zur Simulation der thermo-mechanischen Spannungen nach dem Annealing und hilft dabei, den Fertigungsprozess zu optimieren.
Die Umstrukturierung der Kupfermikrostruktur während des Erwärmens ist maßgeblich für das zeit- und temperaturabhängige Spannungsverhalten der TSVs verantwortlich.
Der GRIN Verlag hat sich seit 1998 auf die Veröffentlichung akademischer eBooks und Bücher spezialisiert. Der GRIN Verlag steht damit als erstes Unternehmen für User Generated Quality Content. Die Verlagsseiten GRIN.com, Hausarbeiten.de und Diplomarbeiten24 bieten für Hochschullehrer, Absolventen und Studenten die ideale Plattform, wissenschaftliche Texte wie Hausarbeiten, Referate, Bachelorarbeiten, Masterarbeiten, Diplomarbeiten, Dissertationen und wissenschaftliche Aufsätze einem breiten Publikum zu präsentieren.
Kostenfreie Veröffentlichung: Hausarbeit, Bachelorarbeit, Diplomarbeit, Dissertation, Masterarbeit, Interpretation oder Referat jetzt veröffentlichen!

